Rozšíření CVD pece II.
Předmětem zakázky je dodávka zařízení, které rozšíří stávající instalace CVD pece (SVFurR21409-ALH4-CEITEC od SVCS, sériové číslo ZA14075) o 4. pozici, která bude zajišťovat růst oxidu na křemíkových substrátech. Současná linka bude používána pro dopování fosforem, nebude tedy nutné zdlouhavě vyměňovat křemenné komponenty. Dodávka v rámci této veřejné zakázky bude obsahovat topnou trubici se…
